材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2009年
9期
35-38
,共4页
熊龙宇%姜胜林%曾亦可%张海波%王青萍
熊龍宇%薑勝林%曾亦可%張海波%王青萍
웅룡우%강성림%증역가%장해파%왕청평
压电厚膜%压电测试%压电器件
壓電厚膜%壓電測試%壓電器件
압전후막%압전측시%압전기건
随着电子元器件向小型、高灵敏、集成、多功能化方向发展,薄/厚膜材料及器件逐渐成为研究的重点.由于压电厚膜(10～100μm)兼具有压电陶瓷与压电薄膜的优点,是各种微型传感器和执行器的核心部分,已引起世界各国研究者极大的兴趣,但是大多数研究还处于实验阶段.评述了压电厚膜的制备方法、测试表征以及应用状况,归纳了压电厚膜研究的现状及发展趋势,指出了其中存在的问题及解决办法,并对压电厚膜今后的研究提出了一些建议.
隨著電子元器件嚮小型、高靈敏、集成、多功能化方嚮髮展,薄/厚膜材料及器件逐漸成為研究的重點.由于壓電厚膜(10～100μm)兼具有壓電陶瓷與壓電薄膜的優點,是各種微型傳感器和執行器的覈心部分,已引起世界各國研究者極大的興趣,但是大多數研究還處于實驗階段.評述瞭壓電厚膜的製備方法、測試錶徵以及應用狀況,歸納瞭壓電厚膜研究的現狀及髮展趨勢,指齣瞭其中存在的問題及解決辦法,併對壓電厚膜今後的研究提齣瞭一些建議.
수착전자원기건향소형、고령민、집성、다공능화방향발전,박/후막재료급기건축점성위연구적중점.유우압전후막(10～100μm)겸구유압전도자여압전박막적우점,시각충미형전감기화집행기적핵심부분,이인기세계각국연구자겁대적흥취,단시대다수연구환처우실험계단.평술료압전후막적제비방법、측시표정이급응용상황,귀납료압전후막연구적현상급발전추세,지출료기중존재적문제급해결판법,병대압전후막금후적연구제출료일사건의.
