长春理工大学学报(自然科学版)
長春理工大學學報(自然科學版)
장춘리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
4期
42-44
,共3页
薄膜%色散%吸收%光学常数
薄膜%色散%吸收%光學常數
박막%색산%흡수%광학상수
Ta2O5在近紫外到近红外波段作为高折射率材料有着广泛的应用,由于色散和吸收,Ta2O5在不同波段的光学常数不尽相同.此外,不同的制备条件下,Ta2O5材料的光学常数也会出现差异.如何精确得出Ta2O5材料在确定工艺条件下的光学常数成了薄膜工作者关心的话题.本文介绍了一种采用电子枪蒸发并加以离子束辅助技术制备Ta2O5薄膜的方法,对薄膜从近紫外到近红外的光学常数进行了拟合,并举例说明了Ta2O5材料在近紫外波段的应用.
Ta2O5在近紫外到近紅外波段作為高摺射率材料有著廣汎的應用,由于色散和吸收,Ta2O5在不同波段的光學常數不儘相同.此外,不同的製備條件下,Ta2O5材料的光學常數也會齣現差異.如何精確得齣Ta2O5材料在確定工藝條件下的光學常數成瞭薄膜工作者關心的話題.本文介紹瞭一種採用電子鎗蒸髮併加以離子束輔助技術製備Ta2O5薄膜的方法,對薄膜從近紫外到近紅外的光學常數進行瞭擬閤,併舉例說明瞭Ta2O5材料在近紫外波段的應用.
Ta2O5재근자외도근홍외파단작위고절사솔재료유착엄범적응용,유우색산화흡수,Ta2O5재불동파단적광학상수불진상동.차외,불동적제비조건하,Ta2O5재료적광학상수야회출현차이.여하정학득출Ta2O5재료재학정공예조건하적광학상수성료박막공작자관심적화제.본문개소료일충채용전자창증발병가이리자속보조기술제비Ta2O5박막적방법,대박막종근자외도근홍외적광학상수진행료의합,병거례설명료Ta2O5재료재근자외파단적응용.
