光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2003年
7期
840-843
,共4页
王体辉%贺正权%王忠厚%李育林%张向东%方家美
王體輝%賀正權%王忠厚%李育林%張嚮東%方傢美
왕체휘%하정권%왕충후%리육림%장향동%방가미
双折射%偏振%干涉%位移传感器
雙摺射%偏振%榦涉%位移傳感器
쌍절사%편진%간섭%위이전감기
利用晶体双折射和由散射偏振引起的光学干涉技术,设计出一种高精度光学位移传感器.该传感器采用同轴光学系统,测量精度约为4 μm,测量范围不小于28 mm,且测量时不需要使用相干光源,故结构紧凑、性能稳定.
利用晶體雙摺射和由散射偏振引起的光學榦涉技術,設計齣一種高精度光學位移傳感器.該傳感器採用同軸光學繫統,測量精度約為4 μm,測量範圍不小于28 mm,且測量時不需要使用相榦光源,故結構緊湊、性能穩定.
이용정체쌍절사화유산사편진인기적광학간섭기술,설계출일충고정도광학위이전감기.해전감기채용동축광학계통,측량정도약위4 μm,측량범위불소우28 mm,차측량시불수요사용상간광원,고결구긴주、성능은정.
