中国集成电路
中國集成電路
중국집성전로
CHINA INTEGRATED CIRCUIT
2007年
1期
52-56
,共5页
徐赛生%曾磊%张立锋%张炜%张卫%汪礼康
徐賽生%曾磊%張立鋒%張煒%張衛%汪禮康
서새생%증뢰%장립봉%장위%장위%왕례강
铜互连%脉冲电镀%电阻率%晶粒尺寸%表面粗糙度
銅互連%脈遲電鍍%電阻率%晶粒呎吋%錶麵粗糙度
동호련%맥충전도%전조솔%정립척촌%표면조조도
针对先进纳米铜互连技术的要求,研究了脉冲时间和关断时间对铜互连薄膜电阻率、晶粒尺寸和表面粗糙度等性能的影响.实验结果表明,占空比较小时,镀层电阻率较大,晶粒直径较小.脉冲时间选择在毫秒数量级,占空比选择在40%～60%之间容易获得较小电阻率和较大晶粒尺寸的铜薄膜.
針對先進納米銅互連技術的要求,研究瞭脈遲時間和關斷時間對銅互連薄膜電阻率、晶粒呎吋和錶麵粗糙度等性能的影響.實驗結果錶明,佔空比較小時,鍍層電阻率較大,晶粒直徑較小.脈遲時間選擇在毫秒數量級,佔空比選擇在40%～60%之間容易穫得較小電阻率和較大晶粒呎吋的銅薄膜.
침대선진납미동호련기술적요구,연구료맥충시간화관단시간대동호련박막전조솔、정립척촌화표면조조도등성능적영향.실험결과표명,점공비교소시,도층전조솔교대,정립직경교소.맥충시간선택재호초수량급,점공비선택재40%～60%지간용역획득교소전조솔화교대정립척촌적동박막.
