硅酸盐通报
硅痠鹽通報
규산염통보
BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2008年
3期
580-583
,共4页
偏振差分透射谱%各向异性%内应力
偏振差分透射譜%各嚮異性%內應力
편진차분투사보%각향이성%내응력
利用偏振差分透射谱测量了2英寸圆形GaAs晶片、自支撑GaN衬底和蓝宝石衬底等的双折射分布,通过弹光效应换算得到了晶片内部残余应力分布.测量得到的应力反映的是晶片各个点的[110]和[110]方向的应变差.实验测量得到的GaAs晶片和自支撑GaN 衬底的[110] 和[110]的应变差最大可以达到10-5数量级.蓝宝石衬底的可以达到10-6数量级.因此TDS可以对透明或者半透明晶片的应力分布实现快速、实时、无损、高灵敏度检测.
利用偏振差分透射譜測量瞭2英吋圓形GaAs晶片、自支撐GaN襯底和藍寶石襯底等的雙摺射分佈,通過彈光效應換算得到瞭晶片內部殘餘應力分佈.測量得到的應力反映的是晶片各箇點的[110]和[110]方嚮的應變差.實驗測量得到的GaAs晶片和自支撐GaN 襯底的[110] 和[110]的應變差最大可以達到10-5數量級.藍寶石襯底的可以達到10-6數量級.因此TDS可以對透明或者半透明晶片的應力分佈實現快速、實時、無損、高靈敏度檢測.
이용편진차분투사보측량료2영촌원형GaAs정편、자지탱GaN츤저화람보석츤저등적쌍절사분포,통과탄광효응환산득도료정편내부잔여응력분포.측량득도적응력반영적시정편각개점적[110]화[110]방향적응변차.실험측량득도적GaAs정편화자지탱GaN 츤저적[110] 화[110]적응변차최대가이체도10-5수량급.람보석츤저적가이체도10-6수량급.인차TDS가이대투명혹자반투명정편적응력분포실현쾌속、실시、무손、고령민도검측.
