激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2007年
5期
476-478
,共3页
聂磊%史铁林%汤自荣%李晓平%马子文
聶磊%史鐵林%湯自榮%李曉平%馬子文
섭뢰%사철림%탕자영%리효평%마자문
激光技术%局部键合%表面活化%键合强度
激光技術%跼部鍵閤%錶麵活化%鍵閤彊度
격광기술%국부건합%표면활화%건합강도
为了研究低热应力键合工艺,提出了一种将表面活化直接键合与激光局部键合相结合的键合技术.首先采用RCA溶液对键合片进行表面亲水活化处理,并在室温下成功地完成了预键合.然后在不使用任何夹具施加外力辅助的情况下,利用波长1064nm、光斑直径500μm、功率70W的Nd:YAG连续式激光器,实现了激光局部键合,并取得了6.3MPa～6.8MPa的键合强度.结果表明,这种以表面活化预键合代替加压的激光局部键合技术克服了传统激光键合存在的激光对焦困难,以及压力不匀易损害键合片和玻璃盖板等缺点,同时缩短了表面活化直接键合的退火时间,提高了键合效率.
為瞭研究低熱應力鍵閤工藝,提齣瞭一種將錶麵活化直接鍵閤與激光跼部鍵閤相結閤的鍵閤技術.首先採用RCA溶液對鍵閤片進行錶麵親水活化處理,併在室溫下成功地完成瞭預鍵閤.然後在不使用任何夾具施加外力輔助的情況下,利用波長1064nm、光斑直徑500μm、功率70W的Nd:YAG連續式激光器,實現瞭激光跼部鍵閤,併取得瞭6.3MPa～6.8MPa的鍵閤彊度.結果錶明,這種以錶麵活化預鍵閤代替加壓的激光跼部鍵閤技術剋服瞭傳統激光鍵閤存在的激光對焦睏難,以及壓力不勻易損害鍵閤片和玻璃蓋闆等缺點,同時縮短瞭錶麵活化直接鍵閤的退火時間,提高瞭鍵閤效率.
위료연구저열응력건합공예,제출료일충장표면활화직접건합여격광국부건합상결합적건합기술.수선채용RCA용액대건합편진행표면친수활화처리,병재실온하성공지완성료예건합.연후재불사용임하협구시가외력보조적정황하,이용파장1064nm、광반직경500μm、공솔70W적Nd:YAG련속식격광기,실현료격광국부건합,병취득료6.3MPa～6.8MPa적건합강도.결과표명,저충이표면활화예건합대체가압적격광국부건합기술극복료전통격광건합존재적격광대초곤난,이급압력불균역손해건합편화파리개판등결점,동시축단료표면활화직접건합적퇴화시간,제고료건합효솔.
