化学学报
化學學報
화학학보
ACTA CHIMICA SINICA
2007年
15期
1521-1526
,共6页
罗宇峰%钟澄%张莉%严学俭%李劲%蒋益明
囉宇峰%鐘澄%張莉%嚴學儉%李勁%蔣益明
라우봉%종징%장리%엄학검%리경%장익명
铜薄膜%氧化%动力学表征%方块电阻%透射光谱
銅薄膜%氧化%動力學錶徵%方塊電阻%透射光譜
동박막%양화%동역학표정%방괴전조%투사광보
研究了140℃下纳米尺度Cu薄膜的氧化行为.采用真空蒸发法以不同沉积速率制备一系列Cu薄膜,利用原子力显微镜(AFM)观察其微观形貌,选取形貌良好的Cu薄膜样品.采用方块电阻和透射光谱两种方法为表征手段,测量16～22 nm范围内不同厚度Cu薄膜在140℃下完全氧化所需要的时间,得到了Cu薄膜氧化反应的动力学曲线,并利用X射线衍射(XRD)分析了氧化产物的晶相结构和成分.结果表明,纳米尺度下Cu薄膜在140℃下氧化反应的动力学表征结果满足特殊的反对数生长规律,反应产物为Cu2O.
研究瞭140℃下納米呎度Cu薄膜的氧化行為.採用真空蒸髮法以不同沉積速率製備一繫列Cu薄膜,利用原子力顯微鏡(AFM)觀察其微觀形貌,選取形貌良好的Cu薄膜樣品.採用方塊電阻和透射光譜兩種方法為錶徵手段,測量16～22 nm範圍內不同厚度Cu薄膜在140℃下完全氧化所需要的時間,得到瞭Cu薄膜氧化反應的動力學麯線,併利用X射線衍射(XRD)分析瞭氧化產物的晶相結構和成分.結果錶明,納米呎度下Cu薄膜在140℃下氧化反應的動力學錶徵結果滿足特殊的反對數生長規律,反應產物為Cu2O.
연구료140℃하납미척도Cu박막적양화행위.채용진공증발법이불동침적속솔제비일계렬Cu박막,이용원자력현미경(AFM)관찰기미관형모,선취형모량호적Cu박막양품.채용방괴전조화투사광보량충방법위표정수단,측량16～22 nm범위내불동후도Cu박막재140℃하완전양화소수요적시간,득도료Cu박막양화반응적동역학곡선,병이용X사선연사(XRD)분석료양화산물적정상결구화성분.결과표명,납미척도하Cu박막재140℃하양화반응적동역학표정결과만족특수적반대수생장규률,반응산물위Cu2O.
