半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2006年
6期
740-741,787
,共3页
舒雄文%徐晨%田增霞%沈光地
舒雄文%徐晨%田增霞%瀋光地
서웅문%서신%전증하%침광지
光学薄膜%离子辅助沉积%光学常数%热稳定性%湿度稳定性
光學薄膜%離子輔助沉積%光學常數%熱穩定性%濕度穩定性
광학박막%리자보조침적%광학상수%열은정성%습도은정성
对用常规电子束蒸发和Ar离子辅助沉积所得的非晶硅光学薄膜的光学常数、表面形貌、热稳定性和湿度稳定性等进行了研究.结果发现Ar离子辅助沉积所得非晶硅光学薄膜的折射率大大提高,表面粗糙度明显降低,湿度稳定性和热稳定性也得到较大改善,但是光学带隙变窄,光学吸收增加.
對用常規電子束蒸髮和Ar離子輔助沉積所得的非晶硅光學薄膜的光學常數、錶麵形貌、熱穩定性和濕度穩定性等進行瞭研究.結果髮現Ar離子輔助沉積所得非晶硅光學薄膜的摺射率大大提高,錶麵粗糙度明顯降低,濕度穩定性和熱穩定性也得到較大改善,但是光學帶隙變窄,光學吸收增加.
대용상규전자속증발화Ar리자보조침적소득적비정규광학박막적광학상수、표면형모、열은정성화습도은정성등진행료연구.결과발현Ar리자보조침적소득비정규광학박막적절사솔대대제고,표면조조도명현강저,습도은정성화열은정성야득도교대개선,단시광학대극변착,광학흡수증가.
