半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2006年
3期
560-563
,共4页
郭春生%谢雪松%马卫东%程尧海%李志国
郭春生%謝雪鬆%馬衛東%程堯海%李誌國
곽춘생%사설송%마위동%정요해%리지국
加速试验%失效机理%一致性
加速試驗%失效機理%一緻性
가속시험%실효궤리%일치성
通过对电子器件加速试验失效模型--Arrhenius模型的研究,发现加速试验过程中,失效机理不发生改变时,电子器件失效敏感参数的退化速率与施加应力的负倒数遵从指数关系,从而提出了一种加速试验失效机理一致性的判定方法.对样品3DG130进行了150～310℃的序进应力加速试验,快速得到了失效机理一致的应力范围,验证了该方法的可行性.
通過對電子器件加速試驗失效模型--Arrhenius模型的研究,髮現加速試驗過程中,失效機理不髮生改變時,電子器件失效敏感參數的退化速率與施加應力的負倒數遵從指數關繫,從而提齣瞭一種加速試驗失效機理一緻性的判定方法.對樣品3DG130進行瞭150～310℃的序進應力加速試驗,快速得到瞭失效機理一緻的應力範圍,驗證瞭該方法的可行性.
통과대전자기건가속시험실효모형--Arrhenius모형적연구,발현가속시험과정중,실효궤리불발생개변시,전자기건실효민감삼수적퇴화속솔여시가응력적부도수준종지수관계,종이제출료일충가속시험실효궤리일치성적판정방법.대양품3DG130진행료150～310℃적서진응력가속시험,쾌속득도료실효궤리일치적응력범위,험증료해방법적가행성.
