阴极蒸发动态测试研究
음겁증발동태측시연구
Study of Dynamic Measurement of Cathode Evaporation
  • 万方数据
    真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2006年 1期 70-73 ,共4页

    阴生毅%张洪来%王宇%刘燕文%田宏%张明晨%李玉涛%丁耀根

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    覆膜钡钨阴极%蒸发%石英晶体振荡法%动态测量 覆膜鋇鎢陰極%蒸髮%石英晶體振盪法%動態測量
    복막패오음겁%증발%석영정체진탕법%동태측량
    为了实现阴极蒸发定量测量,本文发展了一种基于石英晶体振荡原理的动态测试方法.研究表明,在选用高质量石英晶振片和对其进行强制冷却的情况下,既使晶振片近距离承受阴极的高温热辐射,晶振片频率降低趋势仍与阴极蒸发物增加的趋势保持良好的一致性,将单位时间的频率降低量代入公式计算,便可获得阴极蒸发的动态速率.与静态方法相比,这一方法可以提供阴极在蒸发之初的关键信息,因而可以更好地用于指导低蒸发覆膜钡钨阴极的制备.
    위료실현음겁증발정량측량,본문발전료일충기우석영정체진탕원리적동태측시방법.연구표명,재선용고질량석영정진편화대기진행강제냉각적정황하,기사정진편근거리승수음겁적고온열복사,정진편빈솔강저추세잉여음겁증발물증가적추세보지량호적일치성,장단위시간적빈솔강저량대입공식계산,편가획득음겁증발적동태속솔.여정태방법상비,저일방법가이제공음겁재증발지초적관건신식,인이가이경호지용우지도저증발복막패오음겁적제비.
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