Ti-Si0.84Ge0.16和Ti-Si系统的温度特性研究
Ti-Si0.84Ge0.16화Ti-Si계통적온도특성연구
Investigations into Temperature Characteristics of Ti-Si0.84Ge0.16 and Ti-Si Systems
  • 万方数据
    微电子学 미전자학
    MICROELECTRONICS
    2006年 1期 33-35 ,共3页

    李翊%张伟%许军%陈长春%单一林%熊小义%李希有%刘志弘%钱佩信

    리익%장위%허군%진장춘%단일림%웅소의%리희유%류지홍%전패신

    Ti基硅化物%SiGe%HBT%RTA%温度特性 Ti基硅化物%SiGe%HBT%RTA%溫度特性
    Ti기규화물%SiGe%HBT%RTA%온도특성
    实验分别测量了Ti-Si0.84Ge0.16与Ti-Si系统在依次经历700 ℃及730～900 ℃两步退火后的方块电阻.对比结果表明,Ti的锗硅化物与Ti的硅化物具有不同的温度特性.造成这一差异的原因与Ge原子在高温下的行为有关.实验利用XRD,研究了Ti(SiGe)2从C49相到C54相的转变.物相分析结果显示,其相转变温度在760～800 ℃之间.结合实验结论,对采用Ti硅化物工艺的自对准SiGe HBT进行了退火温度的优化,其适合的高温退火温度为850 ℃左右.
    실험분별측량료Ti-Si0.84Ge0.16여Ti-Si계통재의차경력700 ℃급730～900 ℃량보퇴화후적방괴전조.대비결과표명,Ti적타규화물여Ti적규화물구유불동적온도특성.조성저일차이적원인여Ge원자재고온하적행위유관.실험이용XRD,연구료Ti(SiGe)2종C49상도C54상적전변.물상분석결과현시,기상전변온도재760～800 ℃지간.결합실험결론,대채용Ti규화물공예적자대준SiGe HBT진행료퇴화온도적우화,기괄합적고온퇴화온도위850 ℃좌우.
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