核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2006年
1期
54-58
,共5页
阳极层离子源%等离子体预清洗%离子束辅助沉积%电磁场%数值模拟
暘極層離子源%等離子體預清洗%離子束輔助沉積%電磁場%數值模擬
양겁층리자원%등리자체예청세%리자속보조침적%전자장%수치모의
介绍了一种广泛应用于离子刻蚀、预清洗和离子束辅助镀膜的阳极层离子源的工作原理,分析了磁场对其性能的影响.给出了线性阳极层离子源磁路的设计.采用ANSYS有限元分析软件对线性阳极层离子源的静态电磁场进行了模拟分析,并与实验结果进行了比较,结果令人满意.通过ANSYS编码对电磁场模拟,可为具体的阳极层离子源的改进设计提供指导.
介紹瞭一種廣汎應用于離子刻蝕、預清洗和離子束輔助鍍膜的暘極層離子源的工作原理,分析瞭磁場對其性能的影響.給齣瞭線性暘極層離子源磁路的設計.採用ANSYS有限元分析軟件對線性暘極層離子源的靜態電磁場進行瞭模擬分析,併與實驗結果進行瞭比較,結果令人滿意.通過ANSYS編碼對電磁場模擬,可為具體的暘極層離子源的改進設計提供指導.
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