微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
10期
484-486
,共3页
王迪平%伍三忠%孙雪平%孙勇%王玮琪
王迪平%伍三忠%孫雪平%孫勇%王瑋琪
왕적평%오삼충%손설평%손용%왕위기
离子注入机%注入剂量%均匀性
離子註入機%註入劑量%均勻性
리자주입궤%주입제량%균균성
介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法.
介紹瞭離子註入機中註入劑量的均勻性檢測和校正,著重闡述瞭均勻性的檢測原理、均勻性計算公式、均勻性檢測和校正流程及算法.
개소료리자주입궤중주입제량적균균성검측화교정,착중천술료균균성적검측원리、균균성계산공식、균균성검측화교정류정급산법.
