激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2005年
3期
332-333,336
,共3页
田雪松%刘金成%掌蕴东%鲁建业%王骐
田雪鬆%劉金成%掌蘊東%魯建業%王騏
전설송%류금성%장온동%로건업%왕기
激光防护%相变%磁控溅射%二氧化钒
激光防護%相變%磁控濺射%二氧化釩
격광방호%상변%자공천사%이양화범
为得到高纯度的VO2薄膜,对其制备参数进行了探索.VO2薄膜用磁控溅射法制备.对不同条件下制备的VO2薄膜用X射线电子能谱仪(XPS)测试,并通过拟合来得到3,4,5价钒在薄膜中所占的比例.为提高4价钒的含量对薄膜进行了退火处理,分析了退火对氧化钒薄膜中4价钒含量的影响.结果表明,VO2薄膜对10.6μm激光的透过率从60℃时的74%变到78℃时的11.93%,发生了相变.
為得到高純度的VO2薄膜,對其製備參數進行瞭探索.VO2薄膜用磁控濺射法製備.對不同條件下製備的VO2薄膜用X射線電子能譜儀(XPS)測試,併通過擬閤來得到3,4,5價釩在薄膜中所佔的比例.為提高4價釩的含量對薄膜進行瞭退火處理,分析瞭退火對氧化釩薄膜中4價釩含量的影響.結果錶明,VO2薄膜對10.6μm激光的透過率從60℃時的74%變到78℃時的11.93%,髮生瞭相變.
위득도고순도적VO2박막,대기제비삼수진행료탐색.VO2박막용자공천사법제비.대불동조건하제비적VO2박막용X사선전자능보의(XPS)측시,병통과의합래득도3,4,5개범재박막중소점적비례.위제고4개범적함량대박막진행료퇴화처리,분석료퇴화대양화범박막중4개범함량적영향.결과표명,VO2박막대10.6μm격광적투과솔종60℃시적74%변도78℃시적11.93%,발생료상변.
