材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2004年
z2期
74-76
,共3页
李玉华%陈敬超%鲜春桥%吴春萍
李玉華%陳敬超%鮮春橋%吳春萍
리옥화%진경초%선춘교%오춘평
超声雾化气相沉积法(NvD) TiO2薄膜 前驱体 拉曼光谱
超聲霧化氣相沉積法(NvD) TiO2薄膜 前驅體 拉曼光譜
초성무화기상침적법(NvD) TiO2박막 전구체 랍만광보
采用一种新的制备薄膜的技术--超声雾化气相沉积法(NVD),初步研制了一套采用该法制备薄膜的设备,已成功地用该设备制备出了TiO2薄膜.对薄膜形貌进行了初步的分析和研究,并用拉曼光谱对其进行了定性分析.
採用一種新的製備薄膜的技術--超聲霧化氣相沉積法(NVD),初步研製瞭一套採用該法製備薄膜的設備,已成功地用該設備製備齣瞭TiO2薄膜.對薄膜形貌進行瞭初步的分析和研究,併用拉曼光譜對其進行瞭定性分析.
채용일충신적제비박막적기술--초성무화기상침적법(NVD),초보연제료일투채용해법제비박막적설비,이성공지용해설비제비출료TiO2박막.대박막형모진행료초보적분석화연구,병용랍만광보대기진행료정성분석.
