仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2003年
z2期
278-279
,共2页
于毅%赵宏锦%任天令%刘理天
于毅%趙宏錦%任天令%劉理天
우의%조굉금%임천령%류리천
氮化铝薄膜%成分%表面形貌
氮化鋁薄膜%成分%錶麵形貌
담화려박막%성분%표면형모
采用直流磁控反应溅射法制备了具有较好(002)择优取向性的硅基A1N薄膜.用俄歇电子能谱(AES)、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的组成成分和表面形貌进行了分析.
採用直流磁控反應濺射法製備瞭具有較好(002)擇優取嚮性的硅基A1N薄膜.用俄歇電子能譜(AES)、掃描電鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)對薄膜的組成成分和錶麵形貌進行瞭分析.
채용직류자공반응천사법제비료구유교호(002)택우취향성적규기A1N박막.용아헐전자능보(AES)、소묘전경(SEM)화원자력현미경(AFM)대박막적조성성분화표면형모진행료분석.
