哈尔滨工业大学学报
哈爾濱工業大學學報
합이빈공업대학학보
JOURNAL OF HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2003年
3期
381-384
,共4页
游余新%王东红%陈伟平%王蔚%兰慕杰%王喜莲%于杰
遊餘新%王東紅%陳偉平%王蔚%蘭慕傑%王喜蓮%于傑
유여신%왕동홍%진위평%왕위%란모걸%왕희련%우걸
MEMS%微型磁通门%真空镀膜%掩膜电铸
MEMS%微型磁通門%真空鍍膜%掩膜電鑄
MEMS%미형자통문%진공도막%엄막전주
为了制备体积小重量轻的可用于航天方面的微型磁传感器,用微机械加工方法制备了微型磁通门芯片. 重点研究用蒸镀和掩膜电铸两种途径制备微型磁通门磁芯的工艺,研究了不同电铸工艺参数(镀液中c(Fe2+)/c(Ni2+)比、电流密度、pH值)对镀层组份的影响并获得较为理想的成分比. 利用振动样品磁强计测得磁芯材料的磁滞回线表明电镀的磁芯性能优于蒸镀的.
為瞭製備體積小重量輕的可用于航天方麵的微型磁傳感器,用微機械加工方法製備瞭微型磁通門芯片. 重點研究用蒸鍍和掩膜電鑄兩種途徑製備微型磁通門磁芯的工藝,研究瞭不同電鑄工藝參數(鍍液中c(Fe2+)/c(Ni2+)比、電流密度、pH值)對鍍層組份的影響併穫得較為理想的成分比. 利用振動樣品磁彊計測得磁芯材料的磁滯迴線錶明電鍍的磁芯性能優于蒸鍍的.
위료제비체적소중량경적가용우항천방면적미형자전감기,용미궤계가공방법제비료미형자통문심편. 중점연구용증도화엄막전주량충도경제비미형자통문자심적공예,연구료불동전주공예삼수(도액중c(Fe2+)/c(Ni2+)비、전류밀도、pH치)대도층조빈적영향병획득교위이상적성분비. 이용진동양품자강계측득자심재료적자체회선표명전도적자심성능우우증도적.
