材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2001年
3期
43-47
,共5页
侯识华%宋世庚%马远新%郑毓峰
侯識華%宋世庚%馬遠新%鄭毓峰
후식화%송세경%마원신%정육봉
Sol-Gel法%PLZT%铁电薄膜%铅过量%电 学性质
Sol-Gel法%PLZT%鐵電薄膜%鉛過量%電 學性質
Sol-Gel법%PLZT%철전박막%연과량%전 학성질
采用Sol-Gel法,在Pt/TiO2/Si基片上制备了具有不同铅过量(0-20mol%)的PLZT铁电薄膜.分析了薄膜的晶相结构,研究了铅过量对PLZT铁电薄膜的介电性能和铁电性能的影响. 结果表明,各薄膜均具有钙钛矿型结构,且各薄膜均呈(110)择优取向.PLZT铁电薄膜的介电性能和铁电性能随铅过量的变化而改变.铅过量为10mol%的薄膜具有最佳的的介电性能和铁电性能.
採用Sol-Gel法,在Pt/TiO2/Si基片上製備瞭具有不同鉛過量(0-20mol%)的PLZT鐵電薄膜.分析瞭薄膜的晶相結構,研究瞭鉛過量對PLZT鐵電薄膜的介電性能和鐵電性能的影響. 結果錶明,各薄膜均具有鈣鈦礦型結構,且各薄膜均呈(110)擇優取嚮.PLZT鐵電薄膜的介電性能和鐵電性能隨鉛過量的變化而改變.鉛過量為10mol%的薄膜具有最佳的的介電性能和鐵電性能.
채용Sol-Gel법,재Pt/TiO2/Si기편상제비료구유불동연과량(0-20mol%)적PLZT철전박막.분석료박막적정상결구,연구료연과량대PLZT철전박막적개전성능화철전성능적영향. 결과표명,각박막균구유개태광형결구,차각박막균정(110)택우취향.PLZT철전박막적개전성능화철전성능수연과량적변화이개변.연과량위10mol%적박막구유최가적적개전성능화철전성능.
