功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2000年
5期
531-533
,共3页
溶胶-凝胶%快速热处理%PZT薄膜%铁电性能
溶膠-凝膠%快速熱處理%PZT薄膜%鐵電性能
용효-응효%쾌속열처리%PZT박막%철전성능
采用改进的溶胶一凝胶技术,在Pt/Ti/TiO2/SiO2/Si(100)基片上制备了压电PZT薄膜,用XRD和APM技术分析了不同热处理工艺条件下PZT薄膜的微观形貌变化及相结构演化,系统测试了PZT薄膜的铁电性能.工艺-结构-性能研究结果表明:快速热处理工艺(RTA)有利于PZT薄膜保持较低的漏电流密度,热处理温度是影响晶粒大小的主要因素,而保温时间则对PZT薄膜的致密性、晶粒均匀度和晶界结合状态以及PZT薄膜的铁电性能有明显影响.在优化热处理条件下,PZT薄膜的剩余极化值(Pr)可达27μC/cm2,漏电流密度为10-7A/cm2.
採用改進的溶膠一凝膠技術,在Pt/Ti/TiO2/SiO2/Si(100)基片上製備瞭壓電PZT薄膜,用XRD和APM技術分析瞭不同熱處理工藝條件下PZT薄膜的微觀形貌變化及相結構縯化,繫統測試瞭PZT薄膜的鐵電性能.工藝-結構-性能研究結果錶明:快速熱處理工藝(RTA)有利于PZT薄膜保持較低的漏電流密度,熱處理溫度是影響晶粒大小的主要因素,而保溫時間則對PZT薄膜的緻密性、晶粒均勻度和晶界結閤狀態以及PZT薄膜的鐵電性能有明顯影響.在優化熱處理條件下,PZT薄膜的剩餘極化值(Pr)可達27μC/cm2,漏電流密度為10-7A/cm2.
채용개진적용효일응효기술,재Pt/Ti/TiO2/SiO2/Si(100)기편상제비료압전PZT박막,용XRD화APM기술분석료불동열처리공예조건하PZT박막적미관형모변화급상결구연화,계통측시료PZT박막적철전성능.공예-결구-성능연구결과표명:쾌속열처리공예(RTA)유리우PZT박막보지교저적루전류밀도,열처리온도시영향정립대소적주요인소,이보온시간칙대PZT박막적치밀성、정립균균도화정계결합상태이급PZT박막적철전성능유명현영향.재우화열처리조건하,PZT박막적잉여겁화치(Pr)가체27μC/cm2,루전류밀도위10-7A/cm2.
