材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2000年
8期
39-40,46
,共3页
铜薄膜%离子注入%氧化
銅薄膜%離子註入%氧化
동박막%리자주입%양화
采用X射线衍射和卢瑟福背散射技术,研究了Cr离子注入铜薄膜对氧化物形成及其演变的影响.结果表明,离子注入改变了薄膜的氧化行为和氧化物结构.离子注入阻碍Cu原子的扩散,并抑制Cu2O向CuO转变,使得铜薄膜表面的氧化物具有层状结构.探讨了注入前后薄膜表面氧化物形成的机理.
採用X射線衍射和盧瑟福揹散射技術,研究瞭Cr離子註入銅薄膜對氧化物形成及其縯變的影響.結果錶明,離子註入改變瞭薄膜的氧化行為和氧化物結構.離子註入阻礙Cu原子的擴散,併抑製Cu2O嚮CuO轉變,使得銅薄膜錶麵的氧化物具有層狀結構.探討瞭註入前後薄膜錶麵氧化物形成的機理.
채용X사선연사화로슬복배산사기술,연구료Cr리자주입동박막대양화물형성급기연변적영향.결과표명,리자주입개변료박막적양화행위화양화물결구.리자주입조애Cu원자적확산,병억제Cu2O향CuO전변,사득동박막표면적양화물구유층상결구.탐토료주입전후박막표면양화물형성적궤리.
