福州大学学报（自然科学版）
福州大學學報（自然科學版）
복주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2000年
2期
16-19
,共4页
吴新坤%郭太良%黄振武%林建光%章秀淦%王瑞红
吳新坤%郭太良%黃振武%林建光%章秀淦%王瑞紅
오신곤%곽태량%황진무%림건광%장수감%왕서홍
真空%静电封接%工艺%分析
真空%靜電封接%工藝%分析
진공%정전봉접%공예%분석
叙述了真空静电封接技术的工艺过程,对封接结果做扫描电子显微镜(SEM)断面观察,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子质谱分析器(SIMS)进行分析,提出了真空静电封接的类电容器结构的新模型.
敘述瞭真空靜電封接技術的工藝過程,對封接結果做掃描電子顯微鏡(SEM)斷麵觀察,併對封接件斷麵的元素濃度的深度分佈用二次離子質譜分析器(SIMS)進行分析,提齣瞭真空靜電封接的類電容器結構的新模型.
서술료진공정전봉접기술적공예과정,대봉접결과주소묘전자현미경(SEM)단면관찰,병대봉접건단면적원소농도적심도분포용이차리자질보분석기(SIMS)진행분석,제출료진공정전봉접적류전용기결구적신모형.
