扫描电镜的模糊--非线性积分控制
소묘전경적모호--비선성적분공제
  • 万方数据
    黑龙江自动化技术与应用 흑룡강자동화기술여응용
    TECHNIQUES OF AUTOMATION AND APPLICATIONS
    1999年 3期 11-13 ,共3页

    杨振强%张卯瑞%王常虹%庄显义

    양진강%장묘서%왕상홍%장현의

    模糊控制器%非线性积分器%扫描电镜 模糊控製器%非線性積分器%掃描電鏡
    모호공제기%비선성적분기%소묘전경
    本文提出了一种模糊--非线性积分调节器,采用具有38.1°相位滞后的非线性积分器,以提高系统的瞬态响应性能,消除稳态误差.并将它用于扫描电镜的控制问题.仿真结果表明,这一方法得到了较好的效果.
    본문제출료일충모호--비선성적분조절기,채용구유38.1°상위체후적비선성적분기,이제고계통적순태향응성능,소제은태오차.병장타용우소묘전경적공제문제.방진결과표명,저일방법득도료교호적효과.
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