微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2003年
1期
76-80
,共5页
宁瑾%刘忠立%刘焕章%葛永才
寧瑾%劉忠立%劉煥章%葛永纔
저근%류충립%류환장%갈영재
多孔硅%牺牲层%电容式微传声器
多孔硅%犧牲層%電容式微傳聲器
다공규%희생층%전용식미전성기
多孔硅具有选择性生长以及可以迅速释放的特性,是MEMS工艺中很好的牺牲层材料.探讨了多孔硅牺牲层工艺的特点,并通过实验证明了其在电容式微传声器制备中的应用可能.提出可以采用氧化多孔硅材料作牺牲层制备微传声器的空气隙的工艺方法,有效地解决其他牺牲层材料与振膜应力不匹配以及释放时间过长的问题,使微传声器的制备成品率得到提高.同时提出运用多孔硅牺牲层工艺制备微传声器的背极板声学孔,可以获得厚度达10μm以上的单晶硅作背极板,背极板刚性好,不会随着外加声压振动,有效地提高了微传声器的性能.
多孔硅具有選擇性生長以及可以迅速釋放的特性,是MEMS工藝中很好的犧牲層材料.探討瞭多孔硅犧牲層工藝的特點,併通過實驗證明瞭其在電容式微傳聲器製備中的應用可能.提齣可以採用氧化多孔硅材料作犧牲層製備微傳聲器的空氣隙的工藝方法,有效地解決其他犧牲層材料與振膜應力不匹配以及釋放時間過長的問題,使微傳聲器的製備成品率得到提高.同時提齣運用多孔硅犧牲層工藝製備微傳聲器的揹極闆聲學孔,可以穫得厚度達10μm以上的單晶硅作揹極闆,揹極闆剛性好,不會隨著外加聲壓振動,有效地提高瞭微傳聲器的性能.
다공규구유선택성생장이급가이신속석방적특성,시MEMS공예중흔호적희생층재료.탐토료다공규희생층공예적특점,병통과실험증명료기재전용식미전성기제비중적응용가능.제출가이채용양화다공규재료작희생층제비미전성기적공기극적공예방법,유효지해결기타희생층재료여진막응력불필배이급석방시간과장적문제,사미전성기적제비성품솔득도제고.동시제출운용다공규희생층공예제비미전성기적배겁판성학공,가이획득후도체10μm이상적단정규작배겁판,배겁판강성호,불회수착외가성압진동,유효지제고료미전성기적성능.
