激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2003年
2期
150-152
,共3页
表面粗糙度%白光干涉%光纤
錶麵粗糙度%白光榦涉%光纖
표면조조도%백광간섭%광섬
文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法.无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度.测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌.该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用.薄膜厚度测量范围为0.2～小于20μm,无横向测试范围的限制.在对SiO2薄膜的测试中,和椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小于2nm.文中介绍的测试系统结构简单,测试精度高,测试结果可靠,具有较强的实用性.文章最后给出了对介质薄膜钛酸铅(PbTiO3)表面的测试研究结果.
文中提齣瞭一種白光榦涉法測量薄膜錶麵微觀不平度的方法.無需測量榦涉條紋,通過對透明薄膜的反射光譜進行分析,可以測齣薄膜的厚度.測試膜片上不同點的厚度,可以得到物體錶麵微觀狀貌.該方法測量精度高、對薄膜無破壞作用.薄膜厚度測量範圍為0.2～小于20μm,無橫嚮測試範圍的限製.在對SiO2薄膜的測試中,和橢圓偏振儀的測試結果相對照,縱嚮測量誤差小于2nm.文中介紹的測試繫統結構簡單,測試精度高,測試結果可靠,具有較彊的實用性.文章最後給齣瞭對介質薄膜鈦痠鉛(PbTiO3)錶麵的測試研究結果.
문중제출료일충백광간섭법측량박막표면미관불평도적방법.무수측량간섭조문,통과대투명박막적반사광보진행분석,가이측출박막적후도.측시막편상불동점적후도,가이득도물체표면미관상모.해방법측량정도고、대박막무파배작용.박막후도측량범위위0.2～소우20μm,무횡향측시범위적한제.재대SiO2박막적측시중,화타원편진의적측시결과상대조,종향측량오차소우2nm.문중개소적측시계통결구간단,측시정도고,측시결과가고,구유교강적실용성.문장최후급출료대개질박막태산연(PbTiO3)표면적측시연구결과.
