固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2003年
2期
178-182
,共5页
蔡勇%张利春%高玉芝%金海岩%叶红飞%张树丹
蔡勇%張利春%高玉芝%金海巖%葉紅飛%張樹丹
채용%장리춘%고옥지%금해암%협홍비%장수단
微波功率晶体管%多晶硅发射区%氧化层%电流增益
微波功率晶體管%多晶硅髮射區%氧化層%電流增益
미파공솔정체관%다정규발사구%양화층%전류증익
首次采用多晶硅发射区RCA技术制备出微波功率晶体管.在工作频率为3.1 GHz时,该器件输出功率达到6 W,功率增益达到10 dB.与普通多晶硅发射区HF晶体管相比,此种晶体管具有电流增益hFE随温度变化小、并且在一定温度下达到饱和的优点,从而可以在一定程度上抑制微波双极功率晶体管由于温度分布不均匀导致的电流集中.文中还讨论了不同的杂质激活条件对RCA器件直流增益的温度特性的影响及对微波性能的影响.
首次採用多晶硅髮射區RCA技術製備齣微波功率晶體管.在工作頻率為3.1 GHz時,該器件輸齣功率達到6 W,功率增益達到10 dB.與普通多晶硅髮射區HF晶體管相比,此種晶體管具有電流增益hFE隨溫度變化小、併且在一定溫度下達到飽和的優點,從而可以在一定程度上抑製微波雙極功率晶體管由于溫度分佈不均勻導緻的電流集中.文中還討論瞭不同的雜質激活條件對RCA器件直流增益的溫度特性的影響及對微波性能的影響.
수차채용다정규발사구RCA기술제비출미파공솔정체관.재공작빈솔위3.1 GHz시,해기건수출공솔체도6 W,공솔증익체도10 dB.여보통다정규발사구HF정체관상비,차충정체관구유전류증익hFE수온도변화소、병차재일정온도하체도포화적우점,종이가이재일정정도상억제미파쌍겁공솔정체관유우온도분포불균균도치적전류집중.문중환토론료불동적잡질격활조건대RCA기건직류증익적온도특성적영향급대미파성능적영향.
