材料保护
材料保護
재료보호
MATERIALS PROTECTION
2002年
5期
27-29
,共3页
窦瑞芬%田林海%潘俊德%陈飞%赵晋香
竇瑞芬%田林海%潘俊德%陳飛%趙晉香
두서분%전림해%반준덕%진비%조진향
网状阴极溅射%空心阴极效应%氮化钽薄膜
網狀陰極濺射%空心陰極效應%氮化鐽薄膜
망상음겁천사%공심음겁효응%담화단박막
介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六方)的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体的结合好 .同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等.该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径.
介紹瞭一種新型的在鋼鐵基體上製備氮化鐽薄膜的方法 --網狀陰極法.其設備簡單、價格低廉.實驗中髮現,在各箇參數配比閤適的條件下,可製備齣結構為fcc(麵心立方)和hex(密排六方)的氮化鐽薄膜.薄膜較緻密且均勻,與基體的結閤好 .同時分析瞭在最佳工藝參數條件下閤成氮化鐽膜的成分、組織、錶麵、斷口形貌和結閤力等.該方法為氮化鐽薄膜作為結構材料使用提供瞭一種新的途徑.
개소료일충신형적재강철기체상제비담화단박막적방법 --망상음겁법.기설비간단、개격저렴.실험중발현,재각개삼수배비합괄적조건하,가제비출결구위fcc(면심립방)화hex(밀배륙방)적담화단박막.박막교치밀차균균,여기체적결합호 .동시분석료재최가공예삼수조건하합성담화단막적성분、조직、표면、단구형모화결합력등.해방법위담화단박막작위결구재료사용제공료일충신적도경.
