材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2002年
4期
504-506,526
,共4页
王华%于军%王耘波%秦冬成
王華%于軍%王耘波%秦鼕成
왕화%우군%왕운파%진동성
Sol-Gel法%铁电薄膜%晶相结构%制备工艺
Sol-Gel法%鐵電薄膜%晶相結構%製備工藝
Sol-Gel법%철전박막%정상결구%제비공예
采用Sol-Gel工艺制备了Si基Bi4TiO12铁电薄膜.研究了退火温度、退火时间、薄膜厚度等对薄膜晶相结构的影响.研究表明,退火温度对Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜晶相结构的影响最为显著,而且随退火温度升高,Bi4Ti3O12薄膜更趋向于沿c-轴取向的生长;退火时间在30分钟内对薄膜晶相结构的影响比较明显;薄膜厚度及30分钟以上的退火处理对薄膜晶相结构的影响不大.
採用Sol-Gel工藝製備瞭Si基Bi4TiO12鐵電薄膜.研究瞭退火溫度、退火時間、薄膜厚度等對薄膜晶相結構的影響.研究錶明,退火溫度對Si基Bi4Ti3O12鐵電薄膜晶相結構的影響最為顯著,而且隨退火溫度升高,Bi4Ti3O12薄膜更趨嚮于沿c-軸取嚮的生長;退火時間在30分鐘內對薄膜晶相結構的影響比較明顯;薄膜厚度及30分鐘以上的退火處理對薄膜晶相結構的影響不大.
채용Sol-Gel공예제비료Si기Bi4TiO12철전박막.연구료퇴화온도、퇴화시간、박막후도등대박막정상결구적영향.연구표명,퇴화온도대Si기Bi4Ti3O12철전박막정상결구적영향최위현저,이차수퇴화온도승고,Bi4Ti3O12박막경추향우연c-축취향적생장;퇴화시간재30분종내대박막정상결구적영향비교명현;박막후도급30분종이상적퇴화처리대박막정상결구적영향불대.
