电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2001年
12期
1726-1728
,共3页
徐雪青%沈辉%胡芸菲
徐雪青%瀋輝%鬍蕓菲
서설청%침휘%호예비
WO3-SiO2%复合薄膜%结构%气致变色
WO3-SiO2%複閤薄膜%結構%氣緻變色
WO3-SiO2%복합박막%결구%기치변색
采用溶胶-凝胶法制备WO3-SiO2复合薄膜，对不同温度热处理的复合薄膜及单一组分薄膜的结构和气
致变色性能进行了对比分析.XRD分析结果表明，复合薄膜的晶化温度提高、晶化程度降低，存在一定的晶格畸变：IR
分析结果表明，在热处理过程中复合薄膜氧化钨分子间不易缩合，分子结构对称性低、变形多.性能测试结果表明，在
复合薄膜中，WO3与SiO2之间的相界等结构缺陷为氢气提供扩散通道，使复合薄膜在热处理后气致变色性能优于单
一组分薄膜.
採用溶膠-凝膠法製備WO3-SiO2複閤薄膜，對不同溫度熱處理的複閤薄膜及單一組分薄膜的結構和氣
緻變色性能進行瞭對比分析.XRD分析結果錶明，複閤薄膜的晶化溫度提高、晶化程度降低，存在一定的晶格畸變：IR
分析結果錶明，在熱處理過程中複閤薄膜氧化鎢分子間不易縮閤，分子結構對稱性低、變形多.性能測試結果錶明，在
複閤薄膜中，WO3與SiO2之間的相界等結構缺陷為氫氣提供擴散通道，使複閤薄膜在熱處理後氣緻變色性能優于單
一組分薄膜.
채용용효-응효법제비WO3-SiO2복합박막，대불동온도열처리적복합박막급단일조분박막적결구화기
치변색성능진행료대비분석.XRD분석결과표명，복합박막적정화온도제고、정화정도강저，존재일정적정격기변：IR
분석결과표명，재열처리과정중복합박막양화오분자간불역축합，분자결구대칭성저、변형다.성능측시결과표명，재
복합박막중，WO3여SiO2지간적상계등결구결함위경기제공확산통도，사복합박막재열처리후기치변색성능우우단
일조분박막.
