光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2001年
5期
144-148
,共5页
吴永刚%曹二华%王占山%魏军明%顾春时%唐伟星%陈玲燕
吳永剛%曹二華%王佔山%魏軍明%顧春時%唐偉星%陳玲燕
오영강%조이화%왕점산%위군명%고춘시%당위성%진령연
Mo薄膜%磁控溅射%表面形貌%应力
Mo薄膜%磁控濺射%錶麵形貌%應力
Mo박막%자공천사%표면형모%응력
用直流平面磁控溅射方法在抛光玻璃衬底上淀积Mo薄膜,将薄膜在真空环境中进行热处理,用扫描探针显微镜(SPM)方法观察了薄膜的表面形貌,X-射线衍射方法分析了薄膜中应力各向异性特征及其与淀积时溅射气体压强和真空热处理的关系.发现薄膜中晶粒具有明显的择优取向,内应力沿径向对称分布,切向应力比径向应力更具有压应力特性,应力的各向异性特征与溅射原子的入射方向有关.真空热处理对薄膜中压应力的释放作用不明显,然而能有效地释放薄膜中的张应力.用HF酸腐蚀衬底的方法制备了自支撑Mo薄膜,发现脱膜前后薄膜表面微观形貌未产生大的变化.
用直流平麵磁控濺射方法在拋光玻璃襯底上澱積Mo薄膜,將薄膜在真空環境中進行熱處理,用掃描探針顯微鏡(SPM)方法觀察瞭薄膜的錶麵形貌,X-射線衍射方法分析瞭薄膜中應力各嚮異性特徵及其與澱積時濺射氣體壓彊和真空熱處理的關繫.髮現薄膜中晶粒具有明顯的擇優取嚮,內應力沿徑嚮對稱分佈,切嚮應力比徑嚮應力更具有壓應力特性,應力的各嚮異性特徵與濺射原子的入射方嚮有關.真空熱處理對薄膜中壓應力的釋放作用不明顯,然而能有效地釋放薄膜中的張應力.用HF痠腐蝕襯底的方法製備瞭自支撐Mo薄膜,髮現脫膜前後薄膜錶麵微觀形貌未產生大的變化.
용직류평면자공천사방법재포광파리츤저상정적Mo박막,장박막재진공배경중진행열처리,용소묘탐침현미경(SPM)방법관찰료박막적표면형모,X-사선연사방법분석료박막중응력각향이성특정급기여정적시천사기체압강화진공열처리적관계.발현박막중정립구유명현적택우취향,내응력연경향대칭분포,절향응력비경향응력경구유압응력특성,응력적각향이성특정여천사원자적입사방향유관.진공열처리대박막중압응력적석방작용불명현,연이능유효지석방박막중적장응력.용HF산부식츤저적방법제비료자지탱Mo박막,발현탈막전후박막표면미관형모미산생대적변화.
