纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2006年
2期
107-110
,共4页
苏亚辉%郭锐%董磊%陈宇航%肖诗洲%黄文浩
囌亞輝%郭銳%董磊%陳宇航%肖詩洲%黃文浩
소아휘%곽예%동뢰%진우항%초시주%황문호
有限元%飞秒激光双光子成型点%弹性模量
有限元%飛秒激光雙光子成型點%彈性模量
유한원%비초격광쌍광자성형점%탄성모량
采用有限元法对材料为SCR500的飞秒激光双光子成型点力学性能进行建模及仿真计算,得出了不同弹性模量下成型点与探针之间的作用力.进而利用原子力显微镜接触模式,选用无针尖探针,测量了成型点的力学性能,得出了相同位移载荷下成型点与探针之间的作用力.将测量结果和仿真结果进行比较,推算出成型点的弹性模量.分析结果表明,双光子固化成型点的弹性模量大约为宏观材料弹性模量的1/7.这为进一步研究双光子飞秒激光加工微器件的力学性能提供了基础.
採用有限元法對材料為SCR500的飛秒激光雙光子成型點力學性能進行建模及倣真計算,得齣瞭不同彈性模量下成型點與探針之間的作用力.進而利用原子力顯微鏡接觸模式,選用無針尖探針,測量瞭成型點的力學性能,得齣瞭相同位移載荷下成型點與探針之間的作用力.將測量結果和倣真結果進行比較,推算齣成型點的彈性模量.分析結果錶明,雙光子固化成型點的彈性模量大約為宏觀材料彈性模量的1/7.這為進一步研究雙光子飛秒激光加工微器件的力學性能提供瞭基礎.
채용유한원법대재료위SCR500적비초격광쌍광자성형점역학성능진행건모급방진계산,득출료불동탄성모량하성형점여탐침지간적작용력.진이이용원자력현미경접촉모식,선용무침첨탐침,측량료성형점적역학성능,득출료상동위이재하하성형점여탐침지간적작용력.장측량결과화방진결과진행비교,추산출성형점적탄성모량.분석결과표명,쌍광자고화성형점적탄성모량대약위굉관재료탄성모량적1/7.저위진일보연구쌍광자비초격광가공미기건적역학성능제공료기출.
