飞秒激光对高反膜的破坏及其超快动力学过程
비초격광대고반막적파배급기초쾌동역학과정
Femtosecond Laser-Induced Damage and Ultrafast Dynamics in Highs Reflection Coating
  • 万方数据
    光学学报 광학학보
    ACTA OPTICA SINICA
    2006年 3期 458-462 ,共5页

    李成斌%贾天卿%孙海轶%李晓溪%徐世珍%冯东海%王晓峰%徐至展

    리성빈%가천경%손해질%리효계%서세진%풍동해%왕효봉%서지전

    薄膜光学%45°高反膜%超快动力学%飞秒激光%烧蚀阈值%烧蚀深度 薄膜光學%45°高反膜%超快動力學%飛秒激光%燒蝕閾值%燒蝕深度
    박막광학%45°고반막%초쾌동역학%비초격광%소식역치%소식심도
    研究了800 nm飞秒激光照射下45°高反膜ZrO2-SiO2的破坏及其超快动力学过程.利用原子力显微镜和扫描电镜观察了材料的烧蚀形貌,测量了破坏阈值与脉冲宽度、烧蚀深度与脉冲能量的依赖关系.随着脉冲宽度从50 fs增加到900 fs,其烧蚀阈值从0.35 J/cm2增加到1.78 J/cm2.烧蚀深度与激光能流密度近似成对数关系.当激光强度略高于烧蚀阈值时,材料很快被烧蚀到几百纳米,烧蚀深度表现出明显的层状特性.同时,利用建立的抽运-探针实验系统,测量了高强度抽运脉冲作用下材料对探针光的反射率随延迟时间的变化,揭示了薄膜烧蚀的超快动力学过程.实验结果表明高反膜表层的材料对烧蚀特性有重要影响.
    연구료800 nm비초격광조사하45°고반막ZrO2-SiO2적파배급기초쾌동역학과정.이용원자력현미경화소묘전경관찰료재료적소식형모,측량료파배역치여맥충관도、소식심도여맥충능량적의뢰관계.수착맥충관도종50 fs증가도900 fs,기소식역치종0.35 J/cm2증가도1.78 J/cm2.소식심도여격광능류밀도근사성대수관계.당격광강도략고우소식역치시,재료흔쾌피소식도궤백납미,소식심도표현출명현적층상특성.동시,이용건립적추운-탐침실험계통,측량료고강도추운맥충작용하재료대탐침광적반사솔수연지시간적변화,게시료박막소식적초쾌동역학과정.실험결과표명고반막표층적재료대소식특성유중요영향.
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