传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
7期
70-72
,共3页
薄膜%直流溅射%电导%气敏特性
薄膜%直流濺射%電導%氣敏特性
박막%직류천사%전도%기민특성
利用共沉淀法制备了ZnSnO3粉体,通过直流溅射制备了气敏薄膜.研究了老化温度、薄膜的组成对气体的灵敏度影响.实验结果表明:600℃老化后,气敏膜薄膜的主要成分是ZnSnO3,在450℃时,该薄膜对乙醇灵敏度约为650,有望开发成酒敏元件.
利用共沉澱法製備瞭ZnSnO3粉體,通過直流濺射製備瞭氣敏薄膜.研究瞭老化溫度、薄膜的組成對氣體的靈敏度影響.實驗結果錶明:600℃老化後,氣敏膜薄膜的主要成分是ZnSnO3,在450℃時,該薄膜對乙醇靈敏度約為650,有望開髮成酒敏元件.
이용공침정법제비료ZnSnO3분체,통과직류천사제비료기민박막.연구료노화온도、박막적조성대기체적령민도영향.실험결과표명:600℃노화후,기민막박막적주요성분시ZnSnO3,재450℃시,해박막대을순령민도약위650,유망개발성주민원건.
