激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2009年
4期
411-414
,共4页
宁锦华%唐恒敬%张可锋%李淘%李永富%李雪%龚海梅
寧錦華%唐恆敬%張可鋒%李淘%李永富%李雪%龔海梅
저금화%당항경%장가봉%리도%리영부%리설%공해매
感应耦合等离子体%Cl2/BCl3/Ar%InGaAs%PIN%探测器
感應耦閤等離子體%Cl2/BCl3/Ar%InGaAs%PIN%探測器
감응우합등리자체%Cl2/BCl3/Ar%InGaAs%PIN%탐측기
采用Cl2/BCl3/舡感应耦合等离子体对InP/In0.55Ga0.45As/InP进行了刻蚀.讨论了不同的气体组分、ICP功率、直流自偏压下对刻蚀速率、表面粗糙度的影响.初步得到了一种稳定、刻蚀表面清洁光滑、图形轮廓良好、均匀性好和刻蚀速率较高的工艺.利用此工艺制作的8元InP/In0.55Ga0.45As/InP(PIN)探测器,峰值探测率为1.04 X1012cmHz1/2W-1.
採用Cl2/BCl3/舡感應耦閤等離子體對InP/In0.55Ga0.45As/InP進行瞭刻蝕.討論瞭不同的氣體組分、ICP功率、直流自偏壓下對刻蝕速率、錶麵粗糙度的影響.初步得到瞭一種穩定、刻蝕錶麵清潔光滑、圖形輪廓良好、均勻性好和刻蝕速率較高的工藝.利用此工藝製作的8元InP/In0.55Ga0.45As/InP(PIN)探測器,峰值探測率為1.04 X1012cmHz1/2W-1.
채용Cl2/BCl3/강감응우합등리자체대InP/In0.55Ga0.45As/InP진행료각식.토론료불동적기체조분、ICP공솔、직류자편압하대각식속솔、표면조조도적영향.초보득도료일충은정、각식표면청길광활、도형륜곽량호、균균성호화각식속솔교고적공예.이용차공예제작적8원InP/In0.55Ga0.45As/InP(PIN)탐측기,봉치탐측솔위1.04 X1012cmHz1/2W-1.
