CAJ | 학술논문

力反馈式微机械加速度计闭环系统的静电反馈力可以等效成一个与反馈电压成正比的负反馈力和一个与其平方成正比的负刚度,这使得加速度输入不同时,可以等效成不同参数的线性系统.首先,通过系统的等效开环数学模型的分析,提出静电反馈力的负刚度给整个系统带来的影响;然后在保证系统稳定性和其它性能的同时,以满足整个量程内的动态性能指标为目的,提出校正方案以及机械刚度的取值;接着对校验方案以及所选取参数进行了稳定性仿真和动态特性仿真;最后通过不同刚度和校正参数的两个加速度计的对比实验证明:适当提高系统机械刚度并合理选择校正参数能够在几乎不影响系统阈值的情况下提高系统的动态特性和稳定性.
력반궤식미궤계가속도계폐배계통적정전반궤력가이등효성일개여반궤전압성정비적부반궤력화일개여기평방성정비적부강도,저사득가속도수입불동시,가이등효성불동삼수적선성계통.수선,통과계통적등효개배수학모형적분석,제출정전반궤력적부강도급정개계통대래적영향;연후재보증계통은정성화기타성능적동시,이만족정개량정내적동태성능지표위목적,제출교정방안이급궤계강도적취치;접착대교험방안이급소선취삼수진행료은정성방진화동태특성방진;최후통과불동강도화교정삼수적량개가속도계적대비실험증명:괄당제고계통궤계강도병합리선택교정삼수능구재궤호불영향계통역치적정황하제고계통적동태특성화은정성.