计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2010年
4期
29-30,32
,共3页
谢胜秋%姚东媛%张丽新%邹向光
謝勝鞦%姚東媛%張麗新%鄒嚮光
사성추%요동원%장려신%추향광
硅-蓝宝石%双膜片%ANSYS%压力传感器
硅-藍寶石%雙膜片%ANSYS%壓力傳感器
규-람보석%쌍막편%ANSYS%압력전감기
本文介绍了在硅-蓝宝石高温压力传感器设计中,运用E型膜片弹性变形原理和传感器压阻效原理,对双E型膜片进行设计,为满足研制实际需求,采用ANSYS Mechanical模块对双膜片力学模型仿真分析,绘出膜片径向应力切向应力的线性分布,合理构建膜片结构的相关参数,将压阻元件布局在应力分布的最佳区域上,研制的传感器满量程输出≥100mV,线性度提高为≤0.01%,传感器精度<0.1%.
本文介紹瞭在硅-藍寶石高溫壓力傳感器設計中,運用E型膜片彈性變形原理和傳感器壓阻效原理,對雙E型膜片進行設計,為滿足研製實際需求,採用ANSYS Mechanical模塊對雙膜片力學模型倣真分析,繪齣膜片徑嚮應力切嚮應力的線性分佈,閤理構建膜片結構的相關參數,將壓阻元件佈跼在應力分佈的最佳區域上,研製的傳感器滿量程輸齣≥100mV,線性度提高為≤0.01%,傳感器精度<0.1%.
본문개소료재규-람보석고온압력전감기설계중,운용E형막편탄성변형원리화전감기압조효원리,대쌍E형막편진행설계,위만족연제실제수구,채용ANSYS Mechanical모괴대쌍막편역학모형방진분석,회출막편경향응력절향응력적선성분포,합리구건막편결구적상관삼수,장압조원건포국재응력분포적최가구역상,연제적전감기만량정수출≥100mV,선성도제고위≤0.01%,전감기정도<0.1%.
