硬质合金
硬質閤金
경질합금
CEMENTED CARBIDE
2012年
3期
123-130
,共8页
李秀萍%余志明%陈响明%刘王平
李秀萍%餘誌明%陳響明%劉王平
리수평%여지명%진향명%류왕평
ZrC%硬质合金%原位%卤化反应%沉积速率%转化率%织构取向
ZrC%硬質閤金%原位%滷化反應%沉積速率%轉化率%織構取嚮
ZrC%경질합금%원위%서화반응%침적속솔%전화솔%직구취향
采用原位卤化反应直接形成的ZrCl4气体作为Zr源,在硬质合金刀具上沉积CVD-ZrC涂层.用SEM,XRD分析检测了合金刀具基底不同表面上沉积生长ZrC涂层的厚度均匀性、沉积速率、形貌组织、织构取向；通过理论计算与工艺实际的涂层沉积转化率对比,定量表征了该沉积体系工艺参数下ZrC涂层的沉积转化率.结果显示,CVD涂层炉内不同位置合金刀片表面沉积的ZrC涂层均匀；由于工艺温度限制,涂层沉积速率较低；ZrCl4转化为ZrC涂层的工艺实际转化率约11％,在理论最大转化率14％范围内；相同温度下随着沉积压力升高,涂层的沉积转化率缓慢降低到10％并趋于稳定；直接在合金基底沉积形成的ZrC涂层为细小的颗粒状形貌,而在合金基底TiN涂层表面上沉积生长的ZrC具有典型的片状组织形貌；对应的涂层生长织构取向从(311)到(111)转变.
採用原位滷化反應直接形成的ZrCl4氣體作為Zr源,在硬質閤金刀具上沉積CVD-ZrC塗層.用SEM,XRD分析檢測瞭閤金刀具基底不同錶麵上沉積生長ZrC塗層的厚度均勻性、沉積速率、形貌組織、織構取嚮；通過理論計算與工藝實際的塗層沉積轉化率對比,定量錶徵瞭該沉積體繫工藝參數下ZrC塗層的沉積轉化率.結果顯示,CVD塗層爐內不同位置閤金刀片錶麵沉積的ZrC塗層均勻；由于工藝溫度限製,塗層沉積速率較低；ZrCl4轉化為ZrC塗層的工藝實際轉化率約11％,在理論最大轉化率14％範圍內；相同溫度下隨著沉積壓力升高,塗層的沉積轉化率緩慢降低到10％併趨于穩定；直接在閤金基底沉積形成的ZrC塗層為細小的顆粒狀形貌,而在閤金基底TiN塗層錶麵上沉積生長的ZrC具有典型的片狀組織形貌；對應的塗層生長織構取嚮從(311)到(111)轉變.
채용원위서화반응직접형성적ZrCl4기체작위Zr원,재경질합금도구상침적CVD-ZrC도층.용SEM,XRD분석검측료합금도구기저불동표면상침적생장ZrC도층적후도균균성、침적속솔、형모조직、직구취향；통과이론계산여공예실제적도층침적전화솔대비,정량표정료해침적체계공예삼수하ZrC도층적침적전화솔.결과현시,CVD도층로내불동위치합금도편표면침적적ZrC도층균균；유우공예온도한제,도층침적속솔교저；ZrCl4전화위ZrC도층적공예실제전화솔약11％,재이론최대전화솔14％범위내；상동온도하수착침적압력승고,도층적침적전화솔완만강저도10％병추우은정；직접재합금기저침적형성적ZrC도층위세소적과립상형모,이재합금기저TiN도층표면상침적생장적ZrC구유전형적편상조직형모；대응적도층생장직구취향종(311)도(111)전변.
