电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2005年
6期
622-628
,共7页
傅惠南%王宏霞%王晓红%区仲荣
傅惠南%王宏霞%王曉紅%區仲榮
부혜남%왕굉하%왕효홍%구중영
扫描探针显微镜%微悬臂%针尖
掃描探針顯微鏡%微懸臂%針尖
소묘탐침현미경%미현비%침첨
探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥.探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题.探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表面相互作用的过程,包含物理、几何关系,还包含表面微观化学作用及其它微观因素的影响.本文探讨探针与表面相互作用关系,并就近些年探针技术发展讨论探针性能、针尖及相应结构的改进,探针功能的拓展以及功能的组合,讨论相关制备技术方法、特点和相应检测条件、适用环境等.
探針是掃描探針顯微鏡的覈心部分,結構及針尖的錶麵狀態會影響此類儀器的操作性、可控製性、工作穩定性、可靠性以及其它性能的髮揮.探針及其相關技術的研究進展成為人們十分關註的問題.探針對錶麵物理信息的檢測是一箇針尖與試樣錶麵相互作用的過程,包含物理、幾何關繫,還包含錶麵微觀化學作用及其它微觀因素的影響.本文探討探針與錶麵相互作用關繫,併就近些年探針技術髮展討論探針性能、針尖及相應結構的改進,探針功能的拓展以及功能的組閤,討論相關製備技術方法、特點和相應檢測條件、適用環境等.
탐침시소묘탐침현미경적핵심부분,결구급침첨적표면상태회영향차류의기적조작성、가공제성、공작은정성、가고성이급기타성능적발휘.탐침급기상관기술적연구진전성위인문십분관주적문제.탐침대표면물리신식적검측시일개침첨여시양표면상호작용적과정,포함물리、궤하관계,환포함표면미관화학작용급기타미관인소적영향.본문탐토탐침여표면상호작용관계,병취근사년탐침기술발전토론탐침성능、침첨급상응결구적개진,탐침공능적탁전이급공능적조합,토론상관제비기술방법、특점화상응검측조건、괄용배경등.