功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
3期
229-232
,共4页
袁振宇%徐东%刘毓舒%蔡炳初
袁振宇%徐東%劉毓舒%蔡炳初
원진우%서동%류육서%채병초
NiTi薄膜%形状记忆合金%织构%微驱动器
NiTi薄膜%形狀記憶閤金%織構%微驅動器
NiTi박막%형상기억합금%직구%미구동기
研究了适用于微器件的溅射态NiTi形状记忆合金薄膜.讨论了溅射工艺及织构对薄膜结构和相变特征的影响.利用薄膜热相变特性制成了微驱动器,观察并分析了该器件的形变特性.结果表明:原位加热溅射可以获得具有织构的晶化薄膜;用该薄膜制备的驱动器回复率为0.76%.
研究瞭適用于微器件的濺射態NiTi形狀記憶閤金薄膜.討論瞭濺射工藝及織構對薄膜結構和相變特徵的影響.利用薄膜熱相變特性製成瞭微驅動器,觀察併分析瞭該器件的形變特性.結果錶明:原位加熱濺射可以穫得具有織構的晶化薄膜;用該薄膜製備的驅動器迴複率為0.76%.
연구료괄용우미기건적천사태NiTi형상기억합금박막.토론료천사공예급직구대박막결구화상변특정적영향.이용박막열상변특성제성료미구동기,관찰병분석료해기건적형변특성.결과표명:원위가열천사가이획득구유직구적정화박막;용해박막제비적구동기회복솔위0.76%.
