CAJ | 학술논문

采用X射线多功能四圆衍射仪测绘出GaN/GaAs(001)外延层中六角相的{0002}和{1010}极图,结果表明外延层中六角相与立方相之间的取向关系为:{0001}∥{111}, 〈1010〉∥〈112〉. 构建了相应的结构模型,并对{0002}和{1010}极图进行了模拟. 六角相以该取向关系存在于立方相GaN外延层中时,两相界面处具有相应于六角相和立方相的层错结构. 分析立方相GaN外延层中形成六角相所导致的晶格畸变和能量变化可知,造成六角相分布特征的主要因素是平行于〈0001〉方向的两相界面处原子成键紊乱. 六角相按照该取向关系,从低温缓冲层内部或缓冲层与外延层界面处萌生,并以片状贯穿至外延层表面的分布特征所引起的外延层能量增加值最小.
채용X사선다공능사원연사의측회출GaN/GaAs(001)외연층중륙각상적{0002}화{1010}겁도,결과표명외연층중륙각상여립방상지간적취향관계위:{0001}∥{111}, 〈1010〉∥〈112〉. 구건료상응적결구모형,병대{0002}화{1010}겁도진행료모의. 륙각상이해취향관계존재우립방상GaN외연층중시,량상계면처구유상응우륙각상화립방상적층착결구. 분석립방상GaN외연층중형성륙각상소도치적정격기변화능량변화가지,조성륙각상분포특정적주요인소시평행우〈0001〉방향적량상계면처원자성건문란. 륙각상안조해취향관계,종저온완충층내부혹완충층여외연층계면처맹생,병이편상관천지외연층표면적분포특정소인기적외연층능량증가치최소.