现代科学仪器
現代科學儀器
현대과학의기
CHINA RURAL WATER AND HYDROPOWER
2008年
1期
51-52
,共2页
史锴%王志%孙景春%刘梦林%韩征和
史鍇%王誌%孫景春%劉夢林%韓徵和
사개%왕지%손경춘%류몽림%한정화
空心阴极%发射体%场发射扫描电镜
空心陰極%髮射體%場髮射掃描電鏡
공심음겁%발사체%장발사소묘전경
利用场发射扫描电镜(FESEM)及其附带能谱仪研究了失效空心阴极发射体的表面形貌、元素组成.研究了离子源环境参数包括预热温度、环境气体组成等对空心阴极失效的影响.提出在离子束辅助沉积(Ion Beam As-sisted Deposition)系统中影响空心阴极发射体寿命的影响因素包括预热温度,环境气体等.通过控制温度和环境气体参与反应的时间可以提高空心阴极的寿命.
利用場髮射掃描電鏡(FESEM)及其附帶能譜儀研究瞭失效空心陰極髮射體的錶麵形貌、元素組成.研究瞭離子源環境參數包括預熱溫度、環境氣體組成等對空心陰極失效的影響.提齣在離子束輔助沉積(Ion Beam As-sisted Deposition)繫統中影響空心陰極髮射體壽命的影響因素包括預熱溫度,環境氣體等.通過控製溫度和環境氣體參與反應的時間可以提高空心陰極的壽命.
이용장발사소묘전경(FESEM)급기부대능보의연구료실효공심음겁발사체적표면형모、원소조성.연구료리자원배경삼수포괄예열온도、배경기체조성등대공심음겁실효적영향.제출재리자속보조침적(Ion Beam As-sisted Deposition)계통중영향공심음겁발사체수명적영향인소포괄예열온도,배경기체등.통과공제온도화배경기체삼여반응적시간가이제고공심음겁적수명.
