西北大学学报(自然科学版)
西北大學學報(自然科學版)
서북대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF NORTHWEST UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
2期
199-202
,共4页
肖锋伟%郑新亮%江洪湖%李倩%姚合宝
肖鋒偉%鄭新亮%江洪湖%李倩%姚閤寶
초봉위%정신량%강홍호%리천%요합보
磁控溅射%氮掺杂的氧化锌薄膜%光致发光(PL)
磁控濺射%氮摻雜的氧化鋅薄膜%光緻髮光(PL)
자공천사%담참잡적양화자박막%광치발광(PL)
目的 比较氮掺杂的氧化锌薄膜与纯氧化锌薄膜的发光特性.方法 用射频磁控溅射法,在玻璃衬底上通过控制氢气,氧气,氮气的流量,制备了纯氧化锌薄膜和氮掺杂的氧化锌薄膜样品.结果 通过比较纯氧化锌薄膜样品和氮掺杂的氧化锌薄膜样品的发光谱,在466nm(2.6 eV)附近发现了一个发光峰;氮掺杂的氧化锌薄膜样品的带隙比纯氧化锌薄膜样品的带隙宽.结论 氮掺杂的氧化锌薄膜在466 nm左右的发光峰与氮有关;带隙变宽的原因:一个是样品中的晶粒小引起的量子限制效应,另一个是压应力引起的氧化锌晶格中的氧原子的2p轨道和锌原子的4s轨道之间斥力增大.
目的 比較氮摻雜的氧化鋅薄膜與純氧化鋅薄膜的髮光特性.方法 用射頻磁控濺射法,在玻璃襯底上通過控製氫氣,氧氣,氮氣的流量,製備瞭純氧化鋅薄膜和氮摻雜的氧化鋅薄膜樣品.結果 通過比較純氧化鋅薄膜樣品和氮摻雜的氧化鋅薄膜樣品的髮光譜,在466nm(2.6 eV)附近髮現瞭一箇髮光峰;氮摻雜的氧化鋅薄膜樣品的帶隙比純氧化鋅薄膜樣品的帶隙寬.結論 氮摻雜的氧化鋅薄膜在466 nm左右的髮光峰與氮有關;帶隙變寬的原因:一箇是樣品中的晶粒小引起的量子限製效應,另一箇是壓應力引起的氧化鋅晶格中的氧原子的2p軌道和鋅原子的4s軌道之間斥力增大.
목적 비교담참잡적양화자박막여순양화자박막적발광특성.방법 용사빈자공천사법,재파리츤저상통과공제경기,양기,담기적류량,제비료순양화자박막화담참잡적양화자박막양품.결과 통과비교순양화자박막양품화담참잡적양화자박막양품적발광보,재466nm(2.6 eV)부근발현료일개발광봉;담참잡적양화자박막양품적대극비순양화자박막양품적대극관.결론 담참잡적양화자박막재466 nm좌우적발광봉여담유관;대극변관적원인:일개시양품중적정립소인기적양자한제효응,령일개시압응력인기적양화자정격중적양원자적2p궤도화자원자적4s궤도지간척력증대.
