超硬材料工程
超硬材料工程
초경재료공정
SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
2011年
3期
26-30
,共5页
刘书军%邓福铭%赵晓凯%陆绍悌%卢学军
劉書軍%鄧福銘%趙曉凱%陸紹悌%盧學軍
류서군%산복명%조효개%륙소제%로학군
化学气相沉积(CVD)%蚋米金刚石涂层%硬质合金%预处理
化學氣相沉積(CVD)%蚋米金剛石塗層%硬質閤金%預處理
화학기상침적(CVD)%예미금강석도층%경질합금%예처리
概述了CVD纳米金刚石涂层工具的研究开发现状、存在的主要问题,重点介绍了硬质合金基体表面预处理方法及纳米金刚石生长工艺参数对CVD纳米金刚石涂层工具结构和性能的影响,其中,介绍了硬质合金基体表面预处理方法主要有酸液浸蚀去钴、施加中间过渡层、机械或等离子体处理、负偏压等；蚋米金刚石生长工艺参数则主要从碳源浓度、基体温度、反应气压三方面进行了介绍；最后,对CVD纳米金刚石涂层工具发展趋势和应用前景作出了展望.
概述瞭CVD納米金剛石塗層工具的研究開髮現狀、存在的主要問題,重點介紹瞭硬質閤金基體錶麵預處理方法及納米金剛石生長工藝參數對CVD納米金剛石塗層工具結構和性能的影響,其中,介紹瞭硬質閤金基體錶麵預處理方法主要有痠液浸蝕去鈷、施加中間過渡層、機械或等離子體處理、負偏壓等；蚋米金剛石生長工藝參數則主要從碳源濃度、基體溫度、反應氣壓三方麵進行瞭介紹；最後,對CVD納米金剛石塗層工具髮展趨勢和應用前景作齣瞭展望.
개술료CVD납미금강석도층공구적연구개발현상、존재적주요문제,중점개소료경질합금기체표면예처리방법급납미금강석생장공예삼수대CVD납미금강석도층공구결구화성능적영향,기중,개소료경질합금기체표면예처리방법주요유산액침식거고、시가중간과도층、궤계혹등리자체처리、부편압등；예미금강석생장공예삼수칙주요종탄원농도、기체온도、반응기압삼방면진행료개소；최후,대CVD납미금강석도층공구발전추세화응용전경작출료전망.
