工程设计学报
工程設計學報
공정설계학보
JOURNAL OF ENGINEERING DESIGN
2003年
1期
15-19
,共5页
陈亚良%傅龙珠%梅德庆%陈子辰
陳亞良%傅龍珠%梅德慶%陳子辰
진아량%부룡주%매덕경%진자신
超精密装置%仿生学%主动振动控制%PID控制
超精密裝置%倣生學%主動振動控製%PID控製
초정밀장치%방생학%주동진동공제%PID공제
在仿生啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上,采用主动隔振技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型.结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求,采用闭环PID主动控制系统,用Matlab软件进行了仿真分析.仿真分析结果表明,该振动控制系统宽频率范围内具有良好的减振效果,该系统可应用于超精密测量、超精密制造设备的隔振领域.
在倣生啄木鳥頭部獨特生物構造和隔振機理的基礎上,採用主動隔振技術建立瞭超精密裝置隔振繫統結構及動力學模型.結閤超精密裝置隔振繫統的結構特點和性能要求,採用閉環PID主動控製繫統,用Matlab軟件進行瞭倣真分析.倣真分析結果錶明,該振動控製繫統寬頻率範圍內具有良好的減振效果,該繫統可應用于超精密測量、超精密製造設備的隔振領域.
재방생탁목조두부독특생물구조화격진궤리적기출상,채용주동격진기술건립료초정밀장치격진계통결구급동역학모형.결합초정밀장치격진계통적결구특점화성능요구,채용폐배PID주동공제계통,용Matlab연건진행료방진분석.방진분석결과표명,해진동공제계통관빈솔범위내구유량호적감진효과,해계통가응용우초정밀측량、초정밀제조설비적격진영역.
