新型侧壁绝缘体硅微机械工艺
신형측벽절연체규미궤계공예
New Bulk Silicon Micromaching Technology with Sidewall Isolation
  • 万方数据
    仪表技术与传感器 의표기술여전감기
    INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
    2005年 1期 7-9 ,共3页

    程保罗%李昕欣%王跃林%焦继伟%车录锋%张鲲%戈肖鸿%宋朝晖

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    微机电系统%体硅工艺%侧壁扩散%绝缘工艺%加速度传感器 微機電繫統%體硅工藝%側壁擴散%絕緣工藝%加速度傳感器
    미궤전계통%체규공예%측벽확산%절연공예%가속도전감기
    介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘.该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘.对于该工艺的原理、可能出现的问题、制作流程的摸索等进行了探讨,并且给出使用该工艺实现的一个带自检驱动功能的加速度计.该加速度计采用压阻原理,器件的压阻敏感电阻部分,通过在侧面进行半导体杂质扩散而形成.
    개소료일충전신적체규미궤계공예,가이취대SOI규편이직접재보통규편상대불동적측벽전학도통부분진행절연.해공예재DRIE형성적절연심구내진행SiO2절연박막전충,병용전충후형성적SiO2조대기건측벽진행전학절연.대우해공예적원리、가능출현적문제、제작류정적모색등진행료탐토,병차급출사용해공예실현적일개대자검구동공능적가속도계.해가속도계채용압조원리,기건적압조민감전조부분,통과재측면진행반도체잡질확산이형성.
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