西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2005年
9期
946-949
,共4页
王权岱%段玉岗%丁玉成%卢秉恒%张亚军
王權岱%段玉崗%丁玉成%盧秉恆%張亞軍
왕권대%단옥강%정옥성%로병항%장아군
压印光刻%分层制造%微电子机械系统%对正
壓印光刻%分層製造%微電子機械繫統%對正
압인광각%분층제조%미전자궤계계통%대정
针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2 μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.
針對目前微電子機械繫統(MEMS)製造中存在的三維加工能力不足的問題,將壓印光刻技術和分層製造原理相結閤,研究瞭三維MEMS製造的新工藝.採用視頻圖像原理構建瞭多層壓印的對正繫統,對正精度達到2 μm.通過降低黏度和固化收縮率,兼顧彈性和固化速度,開髮瞭適用于微壓印工藝的高分辨率抗蝕劑材料,併進行瞭勻膠、壓印和脫模工藝的優化實驗.通過原子力顯微鏡對壓印結果進行瞭分析,分析結果錶明,圖形從模具到抗蝕劑的轉移誤差小于8%,具有製作複雜微結構的能力,同時也為MEMS的製作提供瞭一種高效低成本的新方法.
침대목전미전자궤계계통(MEMS)제조중존재적삼유가공능력불족적문제,장압인광각기술화분층제조원리상결합,연구료삼유MEMS제조적신공예.채용시빈도상원리구건료다층압인적대정계통,대정정도체도2 μm.통과강저점도화고화수축솔,겸고탄성화고화속도,개발료괄용우미압인공예적고분변솔항식제재료,병진행료균효、압인화탈모공예적우화실험.통과원자력현미경대압인결과진행료분석,분석결과표명,도형종모구도항식제적전이오차소우8%,구유제작복잡미결구적능력,동시야위MEMS적제작제공료일충고효저성본적신방법.
