仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2008年
1期
179-184
,共6页
彭光含%杨学恒%刘济春%李旭%辛洪政
彭光含%楊學恆%劉濟春%李旭%辛洪政
팽광함%양학항%류제춘%리욱%신홍정
原子力显微镜%镜体%微悬臂%隧道谱
原子力顯微鏡%鏡體%微懸臂%隧道譜
원자력현미경%경체%미현비%수도보
主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜(STM)的新型高精度多功能双用原子力显微镜(AFM)技术及其应用.阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法.该AFM采用简单适用的新型微悬臂.并利用STM检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围.该机型集AFM和STM功能为一体,其中STM可以单独使用.该机型检测精度可达:横向0.1 nm,纵向0.01 nm.并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究.
主要研究瞭一種基于高精度IPC-205B型掃描隧道顯微鏡(STM)的新型高精度多功能雙用原子力顯微鏡(AFM)技術及其應用.闡述該原子力顯微鏡的工作原理、組成及應用,詳細介紹瞭該AFM鏡體的獨特結構和新型微懸臂的製作及其檢測方法.該AFM採用簡單適用的新型微懸臂.併利用STM檢測微懸臂的起伏,通過四維機械驅動和雙壓電陶瓷掃描,有效提高瞭掃描精度,擴大瞭掃描範圍.該機型集AFM和STM功能為一體,其中STM可以單獨使用.該機型檢測精度可達:橫嚮0.1 nm,縱嚮0.01 nm.併用該樣機進行瞭樣品錶麵形貌和隧道譜的實驗研究.
주요연구료일충기우고정도IPC-205B형소묘수도현미경(STM)적신형고정도다공능쌍용원자력현미경(AFM)기술급기응용.천술해원자력현미경적공작원리、조성급응용,상세개소료해AFM경체적독특결구화신형미현비적제작급기검측방법.해AFM채용간단괄용적신형미현비.병이용STM검측미현비적기복,통과사유궤계구동화쌍압전도자소묘,유효제고료소묘정도,확대료소묘범위.해궤형집AFM화STM공능위일체,기중STM가이단독사용.해궤형검측정도가체:횡향0.1 nm,종향0.01 nm.병용해양궤진행료양품표면형모화수도보적실험연구.
