光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
4期
482-485
,共4页
焦宝臣%张晓丹%赵颖%魏长春%孙建%赵静%杨瑞霞
焦寶臣%張曉丹%趙穎%魏長春%孫建%趙靜%楊瑞霞
초보신%장효단%조영%위장춘%손건%조정%양서하
超声雾化热分解法%N-Al共掺ZnO%p型ZnO
超聲霧化熱分解法%N-Al共摻ZnO%p型ZnO
초성무화열분해법%N-Al공참ZnO%p형ZnO
利用超声雾化热分解法(USP),通过N-Al共掺的方法,制备出p型ZnO薄膜.利用霍尔测试、X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜分析了不同生长时间ZnO薄膜样品的电学特性、结构和表面形貌的变化.结果表明:其它条件固定时,只有在合适的生长时间条件下,才能得到电学性能较好的N-Al共掺p型ZnO薄膜(电阻率为46.8 Ω·cm、迁移率为0.05 cm2·V-1·s-1、载流子浓度是2.86×1018 cm-3.
利用超聲霧化熱分解法(USP),通過N-Al共摻的方法,製備齣p型ZnO薄膜.利用霍爾測試、X射線衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡分析瞭不同生長時間ZnO薄膜樣品的電學特性、結構和錶麵形貌的變化.結果錶明:其它條件固定時,隻有在閤適的生長時間條件下,纔能得到電學性能較好的N-Al共摻p型ZnO薄膜(電阻率為46.8 Ω·cm、遷移率為0.05 cm2·V-1·s-1、載流子濃度是2.86×1018 cm-3.
이용초성무화열분해법(USP),통과N-Al공참적방법,제비출p형ZnO박막.이용곽이측시、X사선연사(XRD)화소묘전자현미경분석료불동생장시간ZnO박막양품적전학특성、결구화표면형모적변화.결과표명:기타조건고정시,지유재합괄적생장시간조건하,재능득도전학성능교호적N-Al공참p형ZnO박막(전조솔위46.8 Ω·cm、천이솔위0.05 cm2·V-1·s-1、재류자농도시2.86×1018 cm-3.
