光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
4期
447-448
,共2页
波导多层%光卡%模压法%聚二甲基硅氧烷(PDMS)
波導多層%光卡%模壓法%聚二甲基硅氧烷(PDMS)
파도다층%광잡%모압법%취이갑기규양완(PDMS)
提出了波导多层光卡的一种模压制作方法.该方法以聚碳酸脂(PC)作为芯层,聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为包层.首先通过传统的光刻过程制作带有信息的金属母板,然后用金属母板在PC表面压印信息坑,再在PC薄膜表面均匀地旋涂PDMS使之形成复合片,最后将多个复合片叠合在一起形成波导多层光卡.通过光源侧向耦合实验观察, 获得的光卡样品的数据图像清晰,表明这是一种可行的多层光卡制作方法.
提齣瞭波導多層光卡的一種模壓製作方法.該方法以聚碳痠脂(PC)作為芯層,聚二甲基硅氧烷(PDMS)作為包層.首先通過傳統的光刻過程製作帶有信息的金屬母闆,然後用金屬母闆在PC錶麵壓印信息坑,再在PC薄膜錶麵均勻地鏇塗PDMS使之形成複閤片,最後將多箇複閤片疊閤在一起形成波導多層光卡.通過光源側嚮耦閤實驗觀察, 穫得的光卡樣品的數據圖像清晰,錶明這是一種可行的多層光卡製作方法.
제출료파도다층광잡적일충모압제작방법.해방법이취탄산지(PC)작위심층,취이갑기규양완(PDMS)작위포층.수선통과전통적광각과정제작대유신식적금속모판,연후용금속모판재PC표면압인신식갱,재재PC박막표면균균지선도PDMS사지형성복합편,최후장다개복합편첩합재일기형성파도다층광잡.통과광원측향우합실험관찰, 획득적광잡양품적수거도상청석,표명저시일충가행적다층광잡제작방법.
