原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
10期
933-937
,共5页
张文峰%刘实%王隆保%戎利建
張文峰%劉實%王隆保%戎利建
장문봉%류실%왕륭보%융리건
钛%薄膜制备%磁控溅射
鈦%薄膜製備%磁控濺射
태%박막제비%자공천사
用直流磁控溅射的方法在Si及Mo基片上制取Ti及其Ti合金薄膜.研究了基片温度等镀膜工艺参数对薄膜性能的影响,并用XPS、XRD、SEM分析薄膜的化学组成和结构特征,对薄膜的生长模式进行分析.结果表明,合金的加入降低了晶粒尺寸;升高温度可增大薄膜晶粒尺寸,改善薄膜结合能力;合金膜的成分与靶材基本一致.
用直流磁控濺射的方法在Si及Mo基片上製取Ti及其Ti閤金薄膜.研究瞭基片溫度等鍍膜工藝參數對薄膜性能的影響,併用XPS、XRD、SEM分析薄膜的化學組成和結構特徵,對薄膜的生長模式進行分析.結果錶明,閤金的加入降低瞭晶粒呎吋;升高溫度可增大薄膜晶粒呎吋,改善薄膜結閤能力;閤金膜的成分與靶材基本一緻.
용직류자공천사적방법재Si급Mo기편상제취Ti급기Ti합금박막.연구료기편온도등도막공예삼수대박막성능적영향,병용XPS、XRD、SEM분석박막적화학조성화결구특정,대박막적생장모식진행분석.결과표명,합금적가입강저료정립척촌;승고온도가증대박막정립척촌,개선박막결합능력;합금막적성분여파재기본일치.
