电子科技
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전자과기
IT AGE
2010年
8期
40-42
,共3页
刘志娟%褚连青%何秀坤%曹全喜
劉誌娟%褚連青%何秀坤%曹全喜
류지연%저련청%하수곤%조전희
ICP-MS%多晶硅%金属杂质
ICP-MS%多晶硅%金屬雜質
ICP-MS%다정규%금속잡질
研究了电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS),测定太阳能级电池用硅材料中Al,Fe,Ca,Mg,Cu,Zn,Cr,Ni和Mn等痕量元素的分析方法.考察测量过程中的质谱干扰及基体元素产生的基体效应,讨论了可能的消除方法,考察了内标元素Sc,Y,Rh等对基体抑制效应的补偿.采用Sc和Rh做内标元素补偿基体效应和灵敏度漂移,在测定中取得良好的效果.样品的加标回收率为90.0%～107.1%,相对标准偏差(RSD)0.9～3.4%,检出限为0.030～0.500 μg/L.
研究瞭電感耦閤等離子體質譜法(ICP-MS),測定太暘能級電池用硅材料中Al,Fe,Ca,Mg,Cu,Zn,Cr,Ni和Mn等痕量元素的分析方法.攷察測量過程中的質譜榦擾及基體元素產生的基體效應,討論瞭可能的消除方法,攷察瞭內標元素Sc,Y,Rh等對基體抑製效應的補償.採用Sc和Rh做內標元素補償基體效應和靈敏度漂移,在測定中取得良好的效果.樣品的加標迴收率為90.0%～107.1%,相對標準偏差(RSD)0.9～3.4%,檢齣限為0.030～0.500 μg/L.
연구료전감우합등리자체질보법(ICP-MS),측정태양능급전지용규재료중Al,Fe,Ca,Mg,Cu,Zn,Cr,Ni화Mn등흔량원소적분석방법.고찰측량과정중적질보간우급기체원소산생적기체효응,토론료가능적소제방법,고찰료내표원소Sc,Y,Rh등대기체억제효응적보상.채용Sc화Rh주내표원소보상기체효응화령민도표이,재측정중취득량호적효과.양품적가표회수솔위90.0%～107.1%,상대표준편차(RSD)0.9～3.4%,검출한위0.030～0.500 μg/L.
